• Главная
  • ЛЕНТА НОВОСТЕЙ
  • АРХИВ НОВОСТЕЙ
  • Фотогалереи
  • Реклама
  • Контакты
  • RSS feed
  • Издается с 5 октября 2004 г.
  • Партнерство Intel и Corning
    Опубликовано: 2005-07-11 12:07:59
    Intel и Corning Incorporated заключили соглашение о совместной разработке стеклянных основ фотомасок со сверхнизким распространением тепла ULE (low thermal expansion), необходимых для EUV-литографии. EUV-литография была признана консорциумом International Roadmap of Semiconductor Technology самой перспективной технологией литографии следующего поколения.

    Литография используется при производстве микросхем для «рисования» схем на кремниевой подложке. В настоящее время применяются инструменты литографии, используемые для «рисования» транзисторов размером всего лишь 50 нм с длиной волны света 193 нм, что похоже на написание портрета малярной кистью. EUV-литография (литография с использованием сверхжесткого ультрафиолетового излучения) позволит использовать свет с длиной волны 13,5 нм, благодаря чему разработчики микросхем получат очень тонкую «кисть» и смогут «рисовать» уменьшенные транзисторы. Используя новую технологию можно создавать высококачественные фотомаски EUV, позволяющие начать массовое производство полупроводниковых схем с размером узла 32 нм.

    Одним из важнейших условий разработки коммерчески успешной технологии EUV-литографии является снижение числа дефектов в фотомасках EUV. Повышение качества масок EUV, направленные на совершенствование источников света, литографического оборудования и фоторезиста, помогут сформировать инфраструктуру, необходимую для успешного развития и внедрения технологии EUV-литографии.

    По оптимистическому заявлению руководителей компаний, уже к 2009 году можно ожидать запуск производства микросхем с использованием EUV-литографии.

    Источник 3dnews

    Внимание!!! При перепечатке авторских материалов с E-NEWS.COM.UA активная ссылка (не закрытая в теги noindex или nofollow, а именно открытая!!!) на портал "Деловые новости E-NEWS.COM.UA" обязательна.



    E-NEWS.COM.UA

    Электронная почта проекта: info@e-news.com.ua
    Тел.: +380-50-441-7388
    © E-NEWS.COM.UA. Все права защищены.
    При использовании материалов сайта в печатном или электронном виде активная ссылка на www.e-news.com.ua обязательна. Мнения авторов могут не совпадать с позицией редакции. За содержание рекламы ответственность несет рекламодатель. Права на информацию принадлежат www.e-news.com.ua.